PÉREZ TABORDA, J. A. Películas delgadas de nitruro de aluminio (ALN). Scientia et Technica, [S. l.], v. 2, n. 48, p. 218–223, 2011. DOI: 10.22517/23447214.1291. Disponível em: https://revistas.utp.edu.co/index.php/revistaciencia/article/view/1291. Acesso em: 8 nov. 2024.