Diseño y construccion de un calotest utilizado para medir espesores de peliculas delgadas


Autores/as

  • Vicente Benavides
  • Elizabeth Restrepo
  • Rodolfo Rodríguez
  • Alfonso Devia
  • Yuliette C. Arango

Resumen

Este artículo presenta el diseño, construcción y validación de un equipo “Calotest” para medir espesores de recubrimientos y películas. El equipo parte de la necesidad de caracterizar recubrimientos y capas obtenidos en laboratorios de la región. Para comprobar la exactitud del equipo se realizaron pruebas en películas de Zr/ZrN obtenidas por la técnica de deposición en fase vapor asistida por plasma PAPVD por arco pulsado. El valor de los espesores obtenidos por la técnica “Calotest” se comparó con los resultados obtenidos por microscópica de fuerza atómica (AFM) y Perfilometria.

Descargas

Los datos de descargas todavía no están disponibles.

Descargas

    Vistas(Views): 347
  • PDF Descargas(Downloads): 287

Publicado

2004-01-05

Cómo citar

Benavides, V., Restrepo, E., Rodríguez, R., Devia, A., & Arango, Y. C. (2004). Diseño y construccion de un calotest utilizado para medir espesores de peliculas delgadas. Scientia Et Technica, 1(24). Recuperado a partir de https://revistas.utp.edu.co/index.php/revistaciencia/article/view/7367

Número

Vol. 1 Núm. 24 (2004)

Sección

Ciencias Básicas

Licencia

Derechos de autor 2017 Scientia et technica

Creative Commons License

Esta obra está bajo una licencia internacional Creative Commons Atribución-NoComercial-CompartirIgual 4.0.

Los autores firmantes declaran que el artículo sometido a la revista Scientia et Technica es un trabajo original y que todo el material que lo compone se encuentra libre de restricciones de derechos de autor de terceros o cuenta con las autorizaciones correspondientes. En consecuencia, los autores asumen la responsabilidad por cualquier litigio o reclamación relacionada con derechos de propiedad intelectual, exonerando de toda responsabilidad a la Universidad Tecnológica de Pereira y a la revista Ciencia y Tecnología .

En caso de que el trabajo presentado sea aprobado para su publicación, los autores conservan los derechos de autor sobre el artículo y conceden a la revista Scientia et Technica el derecho de primera publicación, así como una licencia no exclusiva, ilimitada en el tiempo, para reproducir, editar, distribuir, exhibir y comunicar públicamente el artículo en cualquier medio o formato, incluyendo medios impresos, electrónicos, bases de datos, repositorios, Internet u otros sistemas de difusión científica. Los autores aceptan que el artículo sea publicado en acceso abierto y distribuido bajo la licencia Creative Commons Atribución–No Comercial–Compartir Igual 4.0 Internacional (CC BY-NC-SA 4.0).

La revista Scientia y respetará en todos los casos los derechos morales de los autores, conforme a lo establecido en el artículo 30 de la Ley 23 de 1982 de la República de Colombia, reconociendo la paternidad de la obra, el derecho a la integridad y el derecho de divulgación, los cuales son inalienables e irrenunciables.