Deposición de películas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PACVD


Authors

  • César Orlando Vargas Barrera Universidad Nacional de Colombia
  • Gil Capote Rodríguez Universidad Nacional de Colombia
  • Jesús Manuel Gutiérrez Bernal Universidad Nacional de Colombia

DOI:

https://doi.org/10.22517/23447214.17651

Keywords:

Diamond-like carbon (DLC), Microestructura, PACVD, Propiedades mecánicas

Abstract

Películas delgadas de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) fueron depositadas por la técnica de deposición química en fase vapor asistida por plasma, utilizando una fuente de corriente directa pulsada asimétrica (DC-pulsada PACVD). Las películas fueron crecidas sobre sustratos de silicio empleando metano como gas precursor y una presión de trabajo de 10 Pa. El estudio fue realizado variando la tensión negativa de autopolarización aplicada al cátodo. Los resultados obtenidos muestran que fue posible obtener recubrimientos protectores de a-C:H con una aceptable tasa de depósito, así como con propiedades atrayentes en cuanto a su microestructura y propiedades mecánicas.

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Author Biographies

César Orlando Vargas Barrera, Universidad Nacional de Colombia

Universidad Nacional de Colombia - Bogotá, Dpto. de Física, Grupo de Ciencias de Materiales y Superficies, Carrera 45 N 26-85, Edificio Uriel Gutiérrez, Bogotá D.C., Colombia

Gil Capote Rodríguez, Universidad Nacional de Colombia

Universidad Nacional de Colombia - Bogotá, Dpto. de Física, Grupo de Ciencias de Materiales y Superficies, Carrera 45 N 26-85, Edificio Uriel Gutiérrez, Bogotá D.C., Colombia

Jesús Manuel Gutiérrez Bernal, Universidad Nacional de Colombia

Universidad Nacional de Colombia - Bogotá, Dpto. de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica, Grupo de Ciencias de Materiales y Superficies, Carrera 45 N 26-85, Edificio Uriel Gutiérrez, Bogotá D.C., Colombia

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Published

2018-06-30

How to Cite

Vargas Barrera, C. O., Capote Rodríguez, G., & Gutiérrez Bernal, J. M. (2018). Deposición de películas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PACVD. Scientia Et Technica, 23(2), 293–299. https://doi.org/10.22517/23447214.17651

Issue

Vol. 23 No. 2 (2018)

Section

Ciencias Básicas

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